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MIDAS　　　＊＊

用途

定置式ガス検知器
窒息性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、自然発火性ガス、腐食性ガス、酸化性ガスに対応する多様なガスセンサカートリッジが用意されているので、半導体などの業種で使用可能です。センサカートリッジを交換すればすみやかにご希望のガスを検知可能です。

特長

35種類以上のガスを検知
校正済みセンサによる容易なセンサ交換及びメンテナンス
容易な設置
見易い大画面液晶
センサの履歴を確認できるイベントログ機能
頑丈なポンプシステムによる最大30mのサンプリング
無線周波数による干渉への耐性に対してCEマークを取得済

MIDASガス検知器は、窒息性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、自然発火性ガス、腐食性ガス、酸化性ガス（酸素を含む）に対応する多様なガスセンサカートリッジが用意されているので半導体などの業種で使用可能です。
センサーカートリッジを交換すれば、すみやかにご希望のガスを検知可能です。

校正済みのガスセンサー

MIDASのガスセンサーは校正済みです。
そのためセンサー交換時に生じるメンテナンス作業は不要です。
お客様自身で道具を使わずに簡単にセンサー交換が可能で機器購入後のランニングコストの低減につながります。
またMIDAS１台を購入頂ければセンサーカートリッジを交換するのみで様々なガスを検出することが可能です。

熱分解装置MIDASパイロライザー

MIDASパイロライザーはMIDAS本体と組み合わせて使用頂くと三フッ化窒素やフロン類ガスを熱分解しHFセンサーで検出させる機器です。
（NF3,C4F6,C5F8,CH2F2,CH3Fなど）

仕様

■ センサー仕様

型番（保証1年版)	型番（保証2年版）	ガス種	測定範囲ppm
MIDAS-S-NH3	MIDAS-E-NH3	アンモニア(NH3)	0～100
MIDAS-S-ASH	MiIDAS-E-ASH	アルシン(ASH3)	0～0.2
MIDAS-S-ASH	MiIDAS-E-ASH	ゲルマン(GEH4)	0～0.8
MIDAS-S-HCL	MIDAS-E-HCL	三塩化ホウ素(BCL3)	0～8
		ジクロロシラン(H2CL2Si)	0～8
		臭化水素(HBr)	0～8
		塩化水素(HCL)	0～8
MIDAS-S-HFX	MIDAS-E-HFX	三フッ化ホウ素(BF3)	0.72～8
		フッ化水素(HF)	1.05～12
		六フッ化タングステン(WF6)	1.05～12
		三フッ化窒素(NF3)※2	3.6～40
MIDAS-S-HFL	MIDAS-E-HFL	三フッ化ホウ素(BF3)低濃度	0.18～2
		フッ化水素(HF)低濃度	0.18～2
		六フッ化タングステン(WF6)低濃度	0.18～2
MIDAS-S-HFU	MIDAS-E-HFU	フッ化水素(HF)	0.37～2
		三フッ化ホウ素(BF3)	0.37～2
		六フッ化タングステン(WF6)	0.37～2
MIDAS-S-BR2	MIDAS-E-BR2	臭素(Br2)	0～0.4
MIDAS-S-BR2	MIDAS-E-BR2	二酸化塩素(CLO2)	0～0.4
MIDAS-S-CO2	MIDAS-E-CO2	二酸化炭素(CO2)	0～2.0%
MIDAS-S-COX	MIDAS-E-COX	一酸化炭素(CO)	0～100
MIDAS-S-COH	MIDAS-E-COH	一酸化炭素（水素中のCO対策型）	0～100
MIDAS-S-HAL	MIDAS-E-HAL	塩素(CL2)	0～2
MIDAS-S-HAL	MIDAS-E-HAL	フッ素(F2)	0～4
MIDAS-S-B2H	MIDAS-E-B2H	ジボラン(B2H6)	0.036～0.4
MIDAS-S-H2X	MIDAS-E-H2X	水素(H2)電気化学式	0～1000
MIDAS-S-HCN	MIDAS-E-HCN	シアン化水素(HCN)	0～20
MIDAS-S-H2S	MIDAS-E-H2S	硫化水素(H2S)	0～40
MIDAS-S-LEL	MIDAS-E-LEL	水素(H2)接触燃焼式	0～100%LEL
		メタン(CH4)接触燃焼式	0～100%LEL
		プロピレン（Ｃ３Ｈ６）接触燃焼式	0～100%LEL
		エチレン(C2H4)接触燃焼式	0～100%LEL
MIDAS-S-LEB	MIDAS-E-LEB	ブタン（n-C4H10）	0～100%LEL
MIDAS-S-LEX	MIDAS-E-LEX	プロパン（C3-H8）	0～100%LEL
MIDAS-S-LEO	MIDAS-E-LEO	オクタン(n-C8H18)	0～100%LEL
MIDAS-S-NOX	MIDAS-E-NOX	一酸化窒素(NO)	0～100
MIDAS-S-NO2	MIDAS-E-NO2	二酸化窒素(NO2)	0～12
MIDAS-S-O2X	MIDAS-E-O2X	酸素(O2)	0～25.0%
MIDAS-S-O3H	MIDAS-E-O3H	オゾン(O3)	0.036～0.7
MIDAS-S-O3X	MIDAS-E-O3X	オゾン(O3)低濃度	0.036～0.4
MIDAS-S-PH3	MIDAS-E-PH3	ホスフィン(PH3)	0～1.2
MIDAS-S-SHL	MIDAS-E-SHL	シラン(SiH4低濃度)	0～2
MIDAS-S-SHX	MIDAS-E-SHX	シラン(SiH4)	0～20
MIDAS-S-SHX	MIDAS-E-SHX	ジシラン(Si2H6)	0～20
MIDAS-S-SO2	MIDAS-E-SO2	二酸化硫黄(SO2)	0～8.0
MIDAS-S-TEO	MIDAS-E-TEO	テトラエトキシシラン(TEOS)	0～40
MIDAS-S-XCF	MIDAS-E-XCF	R134a(C2H2F4)	0～1000
		ジフロロメタン(CH2F2)※3	0～120
		ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6)※3	0～40
		オクタフルオロシクロペンテン(C5F8)※3	0～40
MIDAS-S-XHF	MIDAS-E-XHF	フルオロメタン(CH3F)※3	0～120
---	MIDAS-E-HCH	塩化水素（HCl）	0～15
---	MIDAS-E-HCH	ジクロロシラン(H2Cl2Si)	0～15
---	MIDAS-E-HFU	三フッ化ホウ素(BF3)	0.37～2
		フッ化水素(HF)	0.42～2
		六フッ化タングステン(WF6)	0.37～2
---	MIDAS-E-CFH	ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6)	7.2～80
---	MIDAS-E-CFX	ジフルオロメタン(CH2F2)	16～240
		ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6)	3～40
		フルオロメタン(CH3F)	8～120
		オクタフルオロシクロブタン(C5F8)	3～40
---	MIDAS-X-COS	硫化カルボニル(COS)	0～100
---	MIDAS-E-HAX	塩素(Cl2)	0～2
---	MIDAS-E-HSH	硫化水素(H2S)	0～100
---	MIDAS-E-PHX	ホスフィン(PH3)低干渉	0～1.2
型番（保証3年版）		ガス種	測定範囲ppm
MIDAS-I-O2S		酸素(O2)	0～25％
型番（保証5年版）		ガス種	測定範囲ppm
MIDAS-I-SF6		六フッ化水素(SF6)	0～1000
MIDAS-I-N2O		亜酸化窒素(N2O)	0～1000
MIDAS-I-CO2		二酸化炭素(CO2)	0～5％
			0～2％
			0～0.2％

※1：検出限界とはその検知器が検出できる最小値のこと。
検出限界以下の濃度のガスが検知部に接触しても検知することはできません。
※2：測定にはNF3用パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物パイロライザーが必要です。
※3：測定にはペルフルオロ化合物パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザーが必要です。
MIDASには測定範囲の異なるセンサーがあるものもございます。

■検知器仕様

寸法	MAIDAS	150×65×153mm /0.8kg
	NF3用パイロライザー	70×63×85mm /0.4kg
	ペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー	100×101×140mm /1.36kg
	NF3及びペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー	132×60×98mm /1.20kg
電力要件	動作電圧	定格24V名目-15～±10%(20.4～26.4VDC) MIDASパイロライザーとMIDASトランスミッターには、21.6VDCという制限された最小電圧要件があります。
電力要件	パワーオーバーイーサネット（PoE)動作電圧	定格48VDC PoE(IEEE 802.3af準拠）
消費電力	MAIDAS	5W以下
	MAIDAS+パイロライザー	12.95W以下
	MAIDAS+LonWorks	8W以下
	MAIDAS+パイロライザー+LonWorks	15.95W以下
外部出力	警報出力（3種リレー）	アラーム1/アラーム2/故障時（NO,NC,ラッチ任意変更可能）
	アナログ出力	4-20mA 3線式シンク、3線式ソース、4線式絶縁
	デジタル出力	ModbusTCP Ethernet Power over Ethernet(PoE) LonWorks(オプション型式：MIDAS-T-LON)
	データ通信	RC232C,PPPプロトコル
ポンプ	流量/輸送時間	0.5L/分/2～30秒以内（輸送時間はチューブ要件に依存）
サンプリング距離	吸気	最大30m(FEPチューブ使用時）エアーフィルターの併用を推奨
サンプリング距離	排気	最大30m
チューブ要件	吸気	外形6.35mmX内径3.18mm(1/4X1/8インチ）、FEPチューブ推奨
チューブ要件	排気	外形6.35mmX内径4.76mm(1/4X3/16インチ）、FEPチューブ推奨
使用温度	MAIDAS	0～40℃
使用温度	MAIDAS+パイロライザー	0～30℃
線材要件	4-20mA/DC電源リレー	2線式　最大14AWG
線材要件	デジタル出力	カテゴリー5ケーブルまたは同等品、RJ45コネクタ
遠隔操作	インターネット	インターネットプラウザによる操作
保証	制御器本体	1年
	センサカートリッジ	1年/2年
	パイロライザー	1年
	吸引ポンプ	1年
構造	取付方法	壁面取付用ネジ穴2箇所
構造	保護カバー/シャーシ材質	塗装鋼板/亜鉛メッキ鋼
付属品	取扱説明書（英文）
ボディ色	黒色/グレー

※仕様は変更される場合があります。

※2次元CADおよび3次元CADのデータダウンロードには、会員ログインが必要です。

品番	カタログ	2次元CAD		3次元CAD				取扱説明書	積算用価格
品番	PDF	DXF	DWG	SAT	STEP	XT	IGS	PDF	積算用価格
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