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MIDAS

用 途 用途
定置式ガス検知器
窒息性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、自然発火性ガス、腐食性ガス、酸化性ガスに対応する多様なガスセンサカートリッジが用意されているので、半導体などの業種で使用可能です。センサカートリッジを交換すればすみやかにご希望のガスを検知可能です。
特長 特長
  1. 35種類以上のガスを検知
  2. 校正済みセンサによる容易なセンサ交換及びメンテナンス
  3. 容易な設置
  4. 見易い大画面液晶
  5. センサの履歴を確認できるイベントログ機能
  6. 頑丈なポンプシステムによる最大30mのサンプリング
  7. 無線周波数による干渉への耐性に対してCEマークを取得済


MIDASガス検知器は、窒息性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、自然発火性ガス、腐食性ガス、酸化性ガス(酸素を含む)に対応する多様なガスセンサカートリッジが用意されているので半導体などの業種で使用可能です。
センサーカートリッジを交換すれば、すみやかにご希望のガスを検知可能です。


校正済みのガスセンサー

MIDASのガスセンサーは校正済みです。
そのためセンサー交換時に生じるメンテナンス作業は不要です。
お客様自身で道具を使わずに簡単にセンサー交換が可能で機器購入後のランニングコストの低減につながります。
またMIDAS1台を購入頂ければセンサーカートリッジを交換するのみで様々なガスを検出することが可能です。

熱分解装置MIDASパイロライザー

MIDASパイロライザーはMIDAS本体と組み合わせて使用頂くと三フッ化窒素やフロン類ガスを熱分解しHFセンサーで検出させる機器です。
(NF3,C4F6,C5F8,CH2F2,CH3Fなど)

仕様

センサー仕様
型番(保証1年版)

型番(保証2年版)
ガス種
測定範囲ppm
MIDAS-S-NH3 MIDAS-E-NH3 アンモニア(NH3)
0~100
MIDAS-S-ASH MiIDAS-E-ASH アルシン(ASH3)
0~0.2
ゲルマン(GEH4)
0~0.8
MIDAS-S-HCL MIDAS-E-HCL 三塩化ホウ素(BCL3)
0~8
ジクロロシラン(H2CL2Si) 0~8
臭化水素(HBr) 0~8
塩化水素(HCL)

0~8

MIDAS-S-HFX MIDAS-E-HFX 三フッ化ホウ素(BF3) 0.72~8
フッ化水素(HF) 1.05~12
六フッ化タングステン(WF6) 1.05~12
三フッ化窒素(NF3)※2 3.6~40
MIDAS-S-HFL MIDAS-E-HFL 三フッ化ホウ素(BF3)低濃度 0.18~2
フッ化水素(HF)低濃度 0.18~2
六フッ化タングステン(WF6)低濃度 0.18~2
MIDAS-S-HFU MIDAS-E-HFU フッ化水素(HF) 0.37~2
三フッ化ホウ素(BF3) 0.37~2
六フッ化タングステン(WF6) 0.37~2
MIDAS-S-BR2 MIDAS-E-BR2 臭素(Br2) 0~0.4
二酸化塩素(CLO2) 0~0.4
MIDAS-S-CO2 MIDAS-E-CO2 二酸化炭素(CO2) 0~2.0%
MIDAS-S-COX MIDAS-E-COX 一酸化炭素(CO) 0~100
MIDAS-S-COH MIDAS-E-COH 一酸化炭素(水素中のCO対策型) 0~100
MIDAS-S-HAL MIDAS-E-HAL 塩素(CL2) 0~2
フッ素(F2) 0~4
MIDAS-S-B2H MIDAS-E-B2H ジボラン(B2H6) 0.036~0.4
MIDAS-S-H2X MIDAS-E-H2X 水素(H2)電気化学式 0~1000
MIDAS-S-HCN MIDAS-E-HCN シアン化水素(HCN) 0~20
MIDAS-S-H2S MIDAS-E-H2S 硫化水素(H2S) 0~40
MIDAS-S-LEL MIDAS-E-LEL 水素(H2)接触燃焼式 0~100%LEL
メタン(CH4)接触燃焼式 0~100%LEL
プロピレン(C3H6)接触燃焼式 0~100%LEL
エチレン(C2H4)接触燃焼式 0~100%LEL
MIDAS-S-LEB MIDAS-E-LEB ブタン(n-C4H10) 0~100%LEL
MIDAS-S-LEX MIDAS-E-LEX プロパン(C3-H8) 0~100%LEL
MIDAS-S-LEO MIDAS-E-LEO オクタン(n-C8H18) 0~100%LEL
MIDAS-S-NOX MIDAS-E-NOX 一酸化窒素(NO) 0~100
MIDAS-S-NO2 MIDAS-E-NO2 二酸化窒素(NO2) 0~12
MIDAS-S-O2X MIDAS-E-O2X 酸素(O2) 0~25.0%
MIDAS-S-O3H MIDAS-E-O3H オゾン(O3) 0.036~0.7
MIDAS-S-O3X MIDAS-E-O3X オゾン(O3)低濃度 0.036~0.4
MIDAS-S-PH3 MIDAS-E-PH3 ホスフィン(PH3) 0~1.2
MIDAS-S-SHL MIDAS-E-SHL シラン(SiH4低濃度) 0~2
MIDAS-S-SHX MIDAS-E-SHX シラン(SiH4) 0~20
ジシラン(Si2H6) 0~20
MIDAS-S-SO2 MIDAS-E-SO2 二酸化硫黄(SO2) 0~8.0
MIDAS-S-TEO MIDAS-E-TEO テトラエトキシシラン(TEOS) 0~40
MIDAS-S-XCF MIDAS-E-XCF R134a(C2H2F4) 0~1000
ジフロロメタン(CH2F2)※3 0~120
ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6)※3 0~40
オクタフルオロシクロペンテン(C5F8)※3 0~40
MIDAS-S-XHF MIDAS-E-XHF フルオロメタン(CH3F)※3 0~120
--- MIDAS-E-HCH 塩化水素(HCl) 0~15
ジクロロシラン(H2Cl2Si) 0~15
--- MIDAS-E-HFU 三フッ化ホウ素(BF3) 0.37~2
フッ化水素(HF) 0.42~2
六フッ化タングステン(WF6) 0.37~2
--- MIDAS-E-CFH ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6) 7.2~80
--- MIDAS-E-CFX ジフルオロメタン(CH2F2) 16~240
ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6) 3~40
フルオロメタン(CH3F) 8~120
オクタフルオロシクロブタン(C5F8) 3~40
--- MIDAS-X-COS 硫化カルボニル(COS) 0~100
--- MIDAS-E-HAX 塩素(Cl2) 0~2
--- MIDAS-E-HSH 硫化水素(H2S) 0~100
--- MIDAS-E-PHX ホスフィン(PH3)低干渉 0~1.2
型番(保証3年版)

ガス種
測定範囲ppm
MIDAS-I-O2S 酸素(O2) 0~25%
型番(保証5年版)

ガス種
測定範囲ppm
MIDAS-I-SF6 六フッ化水素(SF6) 0~1000
MIDAS-I-N2O 亜酸化窒素(N2O) 0~1000
MIDAS-I-CO2 二酸化炭素(CO2) 0~5%
0~2%
0~0.2%
※1:検出限界とはその検知器が検出できる最小値のこと。
検出限界以下の濃度のガスが検知部に接触しても検知することはできません。
※2:測定にはNF3用パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物パイロライザーが必要です。
※3:測定にはペルフルオロ化合物パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザーが必要です。
MIDASには測定範囲の異なるセンサーがあるものもございます。

検知器仕様
寸法 MAIDAS
150×65×153mm /0.8kg
NF3用パイロライザー
70×63×85mm /0.4kg
ペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー 100×101×140mm /1.36kg
NF3及びペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー 132×60×98mm /1.20kg
電力
要件
動作電圧
定格24V名目-15~±10%(20.4~26.4VDC)
MIDASパイロライザーとMIDASトランスミッターには、21.6VDCという制限された最小電圧要件があります。
パワーオーバーイーサネット(PoE)動作電圧

定格48VDC PoE(IEEE 802.3af準拠)

消費
電力
MAIDAS

5W以下

MAIDAS+パイロライザー

12.95W以下

MAIDAS+LonWorks

8W以下

MAIDAS+パイロライザー+LonWorks 15.95W以下
外部
出力
警報出力(3種リレー) アラーム1/アラーム2/故障時
(NO,NC,ラッチ任意変更可能)
アナログ出力 4-20mA 3線式シンク、3線式ソース、4線式絶縁
デジタル出力 ModbusTCP Ethernet
Power over Ethernet(PoE)
LonWorks(オプション型式:MIDAS-T-LON)
データ通信 RC232C,PPPプロトコル
ポンプ 流量/輸送時間 0.5L/分/2~30秒以内(輸送時間はチューブ要件に依存)
サンプ
リング距離
吸気 最大30m(FEPチューブ使用時)
エアーフィルターの併用を推奨
排気 最大30m
チューブ
要件
吸気 外形6.35mmX内径3.18mm(1/4X1/8インチ)、FEPチューブ推奨
排気 外形6.35mmX内径4.76mm(1/4X3/16インチ)、FEPチューブ推奨
使用温度 MAIDAS 0~40℃
MAIDAS+パイロライザー 0~30℃
線材
要件
4-20mA/DC電源リレー 2線式 最大14AWG
デジタル出力 カテゴリー5ケーブルまたは同等品、RJ45コネクタ
遠隔操作 インターネット インターネットプラウザによる操作
保証 制御器本体 1年
センサカートリッジ 1年/2年
パイロライザー 1年
吸引ポンプ 1年
構造 取付方法 壁面取付用ネジ穴2箇所
保護カバー/シャーシ材質 塗装鋼板/亜鉛メッキ鋼
付属品 取扱説明書(英文)
ボディ色 黒色/グレー
※仕様は変更される場合があります。

※2次元CADおよび3次元CADのデータダウンロードには、会員ログインが必要です。

品番 カタログ 2次元CAD 3次元CAD 積算用価格
PDF DXF DWG SAT STEP XT IGS
MIDAS

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