MIDASガス検知器は、窒息性ガス、毒性ガス、可燃性ガス、自然発火性ガス、腐食性ガス、酸化性ガス（酸素を含む）に対応する多様なガスセンサカートリッジが用意されているので半導体などの業種で使用可能です。
センサーカートリッジを交換すれば、すみやかにご希望のガスを検知可能です。
校正済みのガスセンサー
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MIDASのガスセンサーは校正済みです。
そのためセンサー交換時に生じるメンテナンス作業は不要です。
お客様自身で道具を使わずに簡単にセンサー交換が可能で機器購入後のランニングコストの低減につながります。
またMIDAS１台を購入頂ければセンサーカートリッジを交換するのみで様々なガスを検出することが可能です。 |
熱分解装置MIDASパイロライザー
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MIDASパイロライザーはMIDAS本体と組み合わせて使用頂くと三フッ化窒素やフロン類ガスを熱分解しHFセンサーで検出させる機器です。
（NF3,C4F6,C5F8,CH2F2,CH3Fなど） |
仕様
■ センサー仕様
型番（保証1年版)
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型番（保証2年版） |
ガス種 |
測定範囲ppm |
| MIDAS-S-NH3 |
MIDAS-E-NH3 |
アンモニア(NH3) |
0～100 |
| MIDAS-S-ASH |
MiIDAS-E-ASH |
アルシン(ASH3) |
0～0.2 |
| ゲルマン(GEH4) |
0～0.8 |
| MIDAS-S-HCL |
MIDAS-E-HCL |
三塩化ホウ素(BCL3) |
0～8 |
| ジクロロシラン(H2CL2Si) |
0～8 |
| 臭化水素(HBr) |
0～8 |
| 塩化水素(HCL) |
0～8 |
| MIDAS-S-HFX |
MIDAS-E-HFX |
三フッ化ホウ素(BF3) |
0.72～8 |
| フッ化水素(HF) |
1.05～12 |
| 六フッ化タングステン(WF6) |
1.05～12 |
| 三フッ化窒素(NF3)※2 |
3.6～40 |
| MIDAS-S-HFL |
MIDAS-E-HFL |
三フッ化ホウ素(BF3)低濃度 |
0.18～2 |
| フッ化水素(HF)低濃度 |
0.18～2 |
| 六フッ化タングステン(WF6)低濃度 |
0.18～2 |
| MIDAS-S-HFU |
MIDAS-E-HFU |
フッ化水素(HF) |
0.37～2 |
| 三フッ化ホウ素(BF3) |
0.37～2 |
| 六フッ化タングステン(WF6) |
0.37～2 |
| MIDAS-S-BR2 |
MIDAS-E-BR2 |
臭素(Br2) |
0～0.4 |
| 二酸化塩素(CLO2) |
0～0.4 |
| MIDAS-S-CO2 |
MIDAS-E-CO2 |
二酸化炭素(CO2) |
0～2.0% |
| MIDAS-S-COX |
MIDAS-E-COX |
一酸化炭素(CO) |
0～100 |
| MIDAS-S-COH |
MIDAS-E-COH |
一酸化炭素（水素中のCO対策型） |
0～100 |
| MIDAS-S-HAL |
MIDAS-E-HAL |
塩素(CL2) |
0～2 |
| フッ素(F2) |
0～4 |
| MIDAS-S-B2H |
MIDAS-E-B2H |
ジボラン(B2H6) |
0.036～0.4 |
| MIDAS-S-H2X |
MIDAS-E-H2X |
水素(H2)電気化学式 |
0～1000 |
| MIDAS-S-HCN |
MIDAS-E-HCN |
シアン化水素(HCN) |
0～20 |
| MIDAS-S-H2S |
MIDAS-E-H2S |
硫化水素(H2S) |
0～40 |
| MIDAS-S-LEL |
MIDAS-E-LEL |
水素(H2)接触燃焼式 |
0～100%LEL |
| メタン(CH4)接触燃焼式 |
0～100%LEL |
| プロピレン（Ｃ３Ｈ６）接触燃焼式 |
0～100%LEL |
| エチレン(C2H4)接触燃焼式 |
0～100%LEL |
| MIDAS-S-LEB |
MIDAS-E-LEB |
ブタン（n-C4H10） |
0～100%LEL |
| MIDAS-S-LEX |
MIDAS-E-LEX |
プロパン（C3-H8） |
0～100%LEL |
| MIDAS-S-LEO |
MIDAS-E-LEO |
オクタン(n-C8H18) |
0～100%LEL |
| MIDAS-S-NOX |
MIDAS-E-NOX |
一酸化窒素(NO) |
0～100 |
| MIDAS-S-NO2 |
MIDAS-E-NO2 |
二酸化窒素(NO2) |
0～12 |
| MIDAS-S-O2X |
MIDAS-E-O2X |
酸素(O2) |
0～25.0% |
| MIDAS-S-O3H |
MIDAS-E-O3H |
オゾン(O3) |
0.036～0.7 |
| MIDAS-S-O3X |
MIDAS-E-O3X |
オゾン(O3)低濃度 |
0.036～0.4 |
| MIDAS-S-PH3 |
MIDAS-E-PH3 |
ホスフィン(PH3) |
0～1.2 |
| MIDAS-S-SHL |
MIDAS-E-SHL |
シラン(SiH4低濃度) |
0～2 |
| MIDAS-S-SHX |
MIDAS-E-SHX |
シラン(SiH4) |
0～20 |
| ジシラン(Si2H6) |
0～20 |
| MIDAS-S-SO2 |
MIDAS-E-SO2 |
二酸化硫黄(SO2) |
0～8.0 |
| MIDAS-S-TEO |
MIDAS-E-TEO |
テトラエトキシシラン(TEOS) |
0～40 |
| MIDAS-S-XCF |
MIDAS-E-XCF |
R134a(C2H2F4) |
0～1000 |
| ジフロロメタン(CH2F2)※3 |
0～120 |
| ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6)※3 |
0～40 |
| オクタフルオロシクロペンテン(C5F8)※3 |
0～40 |
| MIDAS-S-XHF |
MIDAS-E-XHF |
フルオロメタン(CH3F)※3 |
0～120 |
| --- |
MIDAS-E-HCH |
塩化水素（HCl） |
0～15 |
| ジクロロシラン(H2Cl2Si) |
0～15 |
| --- |
MIDAS-E-HFU |
三フッ化ホウ素(BF3) |
0.37～2 |
| フッ化水素(HF) |
0.42～2 |
| 六フッ化タングステン(WF6) |
0.37～2 |
| --- |
MIDAS-E-CFH |
ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6) |
7.2～80 |
| --- |
MIDAS-E-CFX |
ジフルオロメタン(CH2F2) |
16～240 |
| ヘキサフルオロ1.3ブタジエン(C4F6) |
3～40 |
| フルオロメタン(CH3F) |
8～120 |
| オクタフルオロシクロブタン(C5F8) |
3～40 |
| --- |
MIDAS-X-COS |
硫化カルボニル(COS) |
0～100 |
| --- |
MIDAS-E-HAX |
塩素(Cl2) |
0～2 |
| --- |
MIDAS-E-HSH |
硫化水素(H2S) |
0～100 |
| --- |
MIDAS-E-PHX |
ホスフィン(PH3)低干渉 |
0～1.2 |
型番（保証3年版）
|
ガス種 |
測定範囲ppm |
| MIDAS-I-O2S |
酸素(O2) |
0～25％ |
型番（保証5年版）
|
ガス種 |
測定範囲ppm |
| MIDAS-I-SF6 |
六フッ化水素(SF6) |
0～1000 |
| MIDAS-I-N2O |
亜酸化窒素(N2O) |
0～1000 |
| MIDAS-I-CO2 |
二酸化炭素(CO2) |
0～5％ |
| 0～2％ |
| 0～0.2％ |
※1：検出限界とはその検知器が検出できる最小値のこと。
検出限界以下の濃度のガスが検知部に接触しても検知することはできません。
※2：測定にはNF3用パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物パイロライザーが必要です。
※3：測定にはペルフルオロ化合物パイロライザーもしくはNF3およびペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザーが必要です。
MIDASには測定範囲の異なるセンサーがあるものもございます。
■検知器仕様
| 寸法 |
MAIDAS |
150×65×153mm /0.8kg |
| NF3用パイロライザー |
70×63×85mm /0.4kg |
| ペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー |
100×101×140mm /1.36kg |
| NF3及びペルフルオロ化合物用MIDAS P1パイロライザー |
132×60×98mm /1.20kg |
電力
要件 |
動作電圧 |
定格24V名目-15～±10%(20.4～26.4VDC)
MIDASパイロライザーとMIDASトランスミッターには、21.6VDCという制限された最小電圧要件があります。
|
| パワーオーバーイーサネット（PoE)動作電圧 |
定格48VDC PoE(IEEE 802.3af準拠） |
消費
電力 |
MAIDAS |
5W以下 |
| MAIDAS+パイロライザー |
12.95W以下 |
| MAIDAS+LonWorks |
8W以下 |
| MAIDAS+パイロライザー+LonWorks |
15.95W以下 |
外部
出力 |
警報出力（3種リレー） |
アラーム1/アラーム2/故障時
（NO,NC,ラッチ任意変更可能） |
| アナログ出力 |
4-20mA 3線式シンク、3線式ソース、4線式絶縁 |
| デジタル出力 |
ModbusTCP Ethernet
Power over Ethernet(PoE)
LonWorks(オプション型式：MIDAS-T-LON) |
| データ通信 |
RC232C,PPPプロトコル |
| ポンプ |
流量/輸送時間 |
0.5L/分/2～30秒以内（輸送時間はチューブ要件に依存） |
サンプ
リング距離 |
吸気 |
最大30m(FEPチューブ使用時）
エアーフィルターの併用を推奨 |
| 排気 |
最大30m |
チューブ
要件 |
吸気 |
外形6.35mmX内径3.18mm(1/4X1/8インチ）、FEPチューブ推奨 |
| 排気 |
外形6.35mmX内径4.76mm(1/4X3/16インチ）、FEPチューブ推奨 |
| 使用温度 |
MAIDAS |
0～40℃ |
| MAIDAS+パイロライザー |
0～30℃ |
線材
要件 |
4-20mA/DC電源リレー |
2線式 最大14AWG |
| デジタル出力 |
カテゴリー5ケーブルまたは同等品、RJ45コネクタ |
| 遠隔操作 |
インターネット |
インターネットプラウザによる操作 |
| 保証 |
制御器本体 |
1年 |
| センサカートリッジ |
1年/2年 |
| パイロライザー |
1年 |
| 吸引ポンプ |
1年 |
| 構造 |
取付方法 |
壁面取付用ネジ穴2箇所 |
| 保護カバー/シャーシ材質 |
塗装鋼板/亜鉛メッキ鋼 |
| 付属品 |
取扱説明書（英文） |
| ボディ色 |
黒色/グレー |
※仕様は変更される場合があります。 |
用途
特長
ISO9001 認証範囲：営業統括本部、生産統括本部、品質保証室。ISO14001 認証範囲：生産統括本部、品質保証室
